德國SUSS MicroTec HP8TT臺式熱板

　　SUSS-MicroTec-HP8TT（HP8TableTop）是德國原廠專為半導體研發、小批量試樣、高校教學打造的臺式手動精密熱板，適配大200mm（8英寸）晶圓熱處理工藝，匹配SUSSLabSpin勻膠機、RCD8涂膠顯影系統，用于光刻膠前烘、軟烘、堅膜、薄膜退火、基材脫水固化等工序。

　　整機緊湊型臺式設計，無需改造潔凈室，放置工作臺即可使用；搭載閉環PID多點溫控系統，溫度均勻性優異，支持200套分段工藝存儲，實驗數據高度可復現，是芯片研發、MEMS、光電子、微電子實驗室主流進口溫控設備。

　　Table-Top臺式手動機型，輕量化占地小，無需改造潔凈室，直接放置工作臺使用。

　　區別于全自動量產熱板，HP8TT主打研發打樣、工藝調試、教學實驗，預算友好、操作簡單，匹配初創芯片企業、高校實驗室、第三方工藝驗證平臺需求，可與SUSSLabSpin勻膠機、RCD8涂膠顯影系統無縫配套，統一工藝控制邏輯。

　　核心優勢

　　超高均勻溫控，杜絕工藝不良

　　內置多組均勻排布加熱回路+PT100多點測溫，室溫–120℃精度±0.5℃，120–250℃精度±1%；盤面無冷熱區，避免光刻膠烘烤產生針孔、圖形偏移、邊緣色差，大幅提升試樣良率。

　　可編程分段工藝，實驗可溯源

　　獨立觸控操作屏，升溫速率0–10℃/min自由設定；單設備存儲200組工藝配方，單配方最高40步分段程序，單步時長1秒精準可調，完整留存工藝參數，多人實驗統一標準。

　　臺式輕量化，潔凈室通用

　　TT臺式手動機型，占地面積小，普通百級/千級潔凈工作臺直接安放；配備三根升降頂針，手動取片不傷晶圓；板面耐腐蝕特種涂層，光刻膠殘留易清潔，維護簡單。

　　全系設備互通，成套工藝適配

　　軟硬件與SUSSLabSpin、RCD8涂膠顯影設備無縫聯動，統一工藝控制邏輯，整套光刻勻膠烘烤鏈路配套采購，減少設備兼容調試成本。

　　基材兼容性廣，多領域通用

　　兼容硅片、碳化硅、玻璃、化合物半導體、掩膜板、微流控基板，整片晶圓、小塊碎片試樣均可加工，適配新材料研發、光刻膠配方驗證。

　　主要應用行業&工藝場景

　　高校科研教學：集成電路、微電子、MEMS、光電子專業光刻實驗、課程試樣制備；

　　芯片設計/初創企業：光刻工藝研發、光刻膠前烘、軟烘、堅膜固化、薄膜退火；

　　MEMS與傳感器：微機電器件、微流控芯片、光學傳感器小批量試制；

　　電子化學品廠商：光刻膠、顯影液配方烘烤性能驗證；

　　先進封裝/新材料：碳化硅、氮化鎵襯底脫水、介質薄膜熱處理；

德國SUSS MicroTec HP8TT臺式熱板