SUSS MicroTec Solutions涂層機

　　SUSS涂層機全部由德國Sternenfels廠區SUSSMicroTecSolutions生產，分為實驗室手動、半自動中試、全自動量產、噴霧涂層、噴墨涂布五大產品線，覆蓋旋涂、噴霧、噴墨三種涂布工藝，適配6–12英寸晶圓、MEMS、先進封裝、光電子、功率半導體全場景。

　　一、全系型號分類與定位

　　1.LabSpin系列（實驗室手動旋涂機，研發標配）

　　LabSpin8旋涂機

　　LabSpin6：最大150mm圓片/100×100mm方形襯底

　　LabSpin8：最大200mm圓片/150×150mm方形襯底

　　核心用途：高校實驗室、企業研發打樣、小樣品工藝開發

　　核心特點

　　轉速50–8000rpm，轉速精度±1rpm，加速度200–3000rpm/s

　　最多存儲200套工藝配方，單配方40步可編程

　　內置GYRSET®密閉旋涂腔，溶劑氛圍穩定，膜厚均勻誤差＜±5nm

　　集成旋涂、puddle浸置顯影、邊緣去膠EBR模塊

　　臺式緊湊型機身，自帶內置真空發生器，無需外接真空泵

　　兼容硅、玻璃、SiC、GaN、薄片、異形碎片襯底

　　2.RCD8/ECD8半自動涂膠顯影一體機（中試/小批量）

　　ECD8半自動涂布機

　　適配≤200mm晶圓，旋涂+顯影一體化，MEMS、臨時鍵合膠主流機型

　　雙模式顯影：浸置puddle/低壓噴霧顯影

　　真空+機械復合卡盤，可加工翹曲超薄晶圓

　　膜厚均勻性≤2%，兼容超薄光刻膠～250μm厚膠

　　腔體316L防腐不銹鋼，全自動噴嘴清洗、背洗選配

　　觸摸屏工業控制，支持數據導出、遠程工藝追溯

　　3.ACS全自動量產涂覆平臺（200/300mm大規模產線）

　　ACS200Gen3

　　ACS300Gen2

　　ACS200Gen3/Gen3TE（100–200mm）

　　Gen3：標準量產，最多4個工藝模塊

　　Gen3TE增強版：6個旋涂/噴霧模塊，可集成JETx噴墨打印

　　SUSS涂層機ACS300Gen2/Gen3（200/300mm先進封裝）

　　量產核心技術亮點

　　GYRSET®封閉式旋涂腔體：抑制氣流湍流，大幅降低膠材消耗、減少顆粒缺陷，厚膠/薄膠通用

　　閉環在線膜厚檢測TM300模組：干涉實時測厚，自動修正涂布參數，全片厚度波動極小

　　模塊化擴展：旋涂、噴霧、噴墨、PEB烘烤、濕法清洗自由組合

　　SECS/GEM工廠自動化對接，7×24小時不間斷量產

　　兼容FO-WLP、TSV、3DIC臨時鍵合膠、鈍化層、厚膜光刻膠、Mini/MicroLED介質層

　　膜厚覆蓋100nm~250μm，適配高低粘度各類有機涂層材料

　　4.AS8噴霧涂層機（高深寬比、凹凸大形貌專用）

　　SUSS涂層機AS8噴霧涂布機

　　區別于旋涂：專門針對凹凸結構、高深孔、厚金屬臺階、翹曲晶圓

　　雙獨立噴霧分配系統，低壓微霧噴射，臺階覆蓋性遠優于旋涂

　　無邊緣膠堆積，適合MEMS深槽、功率器件溝槽、厚金屬布線

　　兼容200/300mm晶圓與6英寸方形基板，研發+小批量兩用

　　5.PiXDROJETx噴墨涂層模塊（選配ACS平臺）

　　非接觸式數字噴墨，選擇性局部涂布，節省昂貴功能性材料

　　應用：微透鏡、焊膏、絕緣膠、光子芯片局部介質層，無需整片旋涂

　　二、全系通用核心技術（SUSS涂層機標志性特點）

　　GYRSET®密閉旋涂核心技術

　　封閉腔體形成均勻飽和溶劑氛圍，抑制邊緣溶劑快速揮發，膜厚一致性行業頂尖；同時減少光刻膠揮發損耗，降低耗材成本。

　　超寬膜厚適配能力

　　一套設備兼容納米級薄膠～數百微米厚膠，覆蓋光刻膠、臨時鍵合膠、PI聚酰亞胺、BCB鈍化層、光學涂層。

　　全襯底兼容

　　硅、石英玻璃、碳化硅SiC、氮化鎵GaN、藍寶石、超薄載片、翹曲晶圓、方形基板、小片樣品均可加工。

　　一體化工藝集成

　　單設備可整合：旋涂/噴霧/噴墨涂布→邊緣去膠EBR→背清洗→PEB烘烤→顯影，減少多臺設備轉運帶來的污染與良率損失。

　　低缺陷潔凈設計

　　全機防靜電ESD、防腐不銹鋼腔體、藥液多級過濾、自動腔體清洗，適配Class1/10超高潔凈間。

　　研發→量產工藝無縫遷移

　　LabSpin/RCD研發配方可直接導入ACS量產平臺，工藝參數無偏移，大幅縮短新產品轉產周期。

　　三、典型應用領域

　　先進半導體封裝：FO-WLP、2.5D/3DIC、TSV臨時鍵合膠涂布

　　MEMS傳感器：陀螺儀、壓力傳感器、微流控厚膠圖形化

　　寬禁帶功率器件：SiC/GaN車載、快充器件溝槽噴霧涂覆

　　光電子：VCSEL、Mini/MicroLED、光學微透鏡、衍射光學元件

　　科研院所：微納加工實驗室、光子芯片、生物微流控芯片研發

SUSS MicroTec Solutions涂層機